Alcatel Adixen AD100K alto vácuo

Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h.

Bomba seca Adixen AD30K, alto vácuo
As novas e potentes bombas de funcionamento a seco:
A série ADH foi especialmente concebida para processos
desenvolvida para os exigentes processos dos mercados de semicondutores e LED,
Com uma velocidade de bombagem de 600-4500 m3/h.

Semicondutores: Elevada taxa de bombagem de H2
O desempenho da série ADH traz os seguintes benefícios para o processo:
-Desempenho do processo ADL: elevada eficiência de bombagem de gases leves
Permite um esvaziamento mais rápido da câmara entre os passos do processo
- Epitaxia e EUV: alta velocidade de bombeamento e alta taxa de fluxo
A tolerância cumpre as especificações de processo mais exigentes


Bomba seca Adixen AD30K, alto vácuo, AD 30 KL
Fabricante: Alcatel Adixen
Tipo: AD30K.H
Ano de fabrico: 2008

Adixen AD100K.H
Fabricante: Alcatel Adixen
Tipo: AD100K.H
Ano de fabrico: 2008

Bomba de vácuo:
Fabricante: AERZEN
Tipo: GM 2000 CM-C
Velocidade: 6000 rpm
Tensão: 200-460 V
Frequência (óleo mineral/óleo PFPE): 100 c/s
Capacidade de aspiração máx.: 4035 m3/h
Velocidade máxima: 5920 rpm
Potência do motor S 1 / S 6: 9/5,6 kW
Ano de construção: 2008
Peso: 345 kg

Bomba seca:
Fabricante: Adixen
Tipo: BF ADP122
Ano de fabrico: 2008
Potência: 1,5 kW
Capacidade máxima de aspiração: 95 m3/h
Pressão máxima de entrada contínua: 50 mbar
Sobrepressão máxima dos gases de escape: 1200 mbar
Água de arrefecimento: 60 l/h
Velocidade (bomba): 3000-3600 rpm
Temperatura de funcionamento da bomba: de 5 °C a 40 °C
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Flange de entrada: DN 50 ISO-KF
Flange de escape: DN 40

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