GeradorUHV deposition system
Ebeam-sputter
Dados da máquina
Preço e localização
- Localização:
- Albert Plesmanstraat 3, 6021 PR Budel, NL
Detalhes da oferta
- ID do anúncio:
- A169-76251
- Última atualização:
- em 02.09.2024
Descrição
Sistema de deposição UHV:
Foi utilizado para a deposição de titânio - ouro (ebeam)
A unidade de deposição Ebeam é removida
A bomba criogénica e a pré-bomba foram removidas
Bloqueio de carga:
para amostras redondas de 75 mm
Incl. aquecedor de amostras
Bomba turbomolecular de 450l/s (Leybold)
Câmara de processamento:
Tamanho: Largura 680mm x Altura 750mm x Profundidade 590mm
Incl. blindagem
Iedpfx Ageuhcn No Iotn
Porta com orifício duplo (parcialmente bombeada)
Aquecedores
Pressão de base baixa 10-7mbar, alta 10-8mbar
Eletrónica:
Armário de base (unidade de feixe eletrónico removida)
PLC antigo (para bomba/ventilador)
Armário de gás/água:
Várias válvulas/redutores de caudal para gás e água
Nota: A D&M Vacuumsystems pode atualizar o sistema para novos processos (E-beam ou Sputter), incluindo nova eletrónica e software
55.000,- EUROS
O anúncio foi traduzido automaticamente e alguns erros de tradução podem ocurrer.
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